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浙大团队国内首发硅-28 硅烷特气与外延片:化学纯度达 99.99998%,填补国内相关材料空白
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浙大团队国内首发硅-28 硅烷特气与外延片:化学纯度达 99.99998%,填补国内相关材料空白 - IT之家
成果化学纯度达 99.99998%,补齐了硅-28 从特气到外延片的产业链关键环节,为国内硅基量子芯片研发提供国产衬底材料选项。#硅基量子芯片#
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