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朗道燧岩 EUV 光源系统样机 2026 工博会首秀：国产化率达 90%，距量产仍需 3~5 年
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朗道燧岩 EUV 光源系统样机 2026 工博会首秀：国产化率达 90%，距量产仍需 3~5 年 - IT之家
该光源是高端光刻机核心部件，国产化率达九成，多数核心零部件自主研发，可用于芯片曝光测试，目前距离量产仍需 3-5 年。#国产EUV光源# #芯片制造#
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