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御微半导体:国内首款可完整覆盖 90~28nm 掩模图形缺陷检测设备发运国内头部晶圆厂
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御微半导体:国内首款可完整覆盖 90~28nm 掩模图形缺陷检测设备发运国内头部晶圆厂 - IT之家
IT之家 7 月 29 日消息,御微半导体今日宣布,全新自研的国内首款可完整覆盖 90nm 至 28nm 制程节点的掩模图形缺陷检测设备 Raptor-600 正式发运国内头部晶圆厂。 掩模版是芯片光刻环节的核心“母版”,它的品质直接左右整片晶圆的生产良率。细微的图形缺陷,都有可能造成整批晶圆全部报废。 IT之家获悉,该设备可分辨精细图形、规避辅助图形干扰,快速检出图形缺损、表面污染物等各类问题,同时适配掩模制造厂、晶圆厂两大场景,满足全流程品质管控需求。 官方表示,自 2025 年初,可完整覆盖 90nm…
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