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2D 材料晶体管告别实验室：imec 联手台积电、ASML 实现 50nm 栅距 300mm 晶圆验证
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2D 材料晶体管告别实验室：imec 联手台积电、ASML 实现 50nm 栅距 300mm 晶圆验证 - IT之家
imec、台积电与 ASML 联手，首次在标准 300mm 晶圆上成功集成 n 型和 p 型二维互补晶体管，实现 50nm 接触栅极间距。研究采用单次 EUV 曝光，94% 的晶体管能正常开关，为后硅时代逻辑芯片铺平道路。#半导体##芯片制造#
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