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尼康 CEO 大村泰弘：将以性价比与 ASML 在 ArF 光刻机领域竞争
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尼康 CEO 大村泰弘：将以性价比与 ASML 在 ArF 光刻机领域竞争 - IT之家
尼康规划了与 ASML 主导生态兼容的新款浸没式 ArF 光刻机，此外其计划在 2026 财年内出货首台新一代干式 ArF 光刻机 NSR-S333F。
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