我国成功攻克 MEMS 射频参数计量测试技术，研制了多项关键装置，部分指标已达国际先进。该成果已应用于 5G 高频器件、光电集成及航空航天领域，提升了滤波器等核心器件的研发能力与可靠性。#5G 技术##航空航天#