路透社报道，阿斯麦研究人员找到提升 EUV 光源功率方法，到 2030 年芯片产量有望提高 50%。通过强化锡滴发生器实现功率提升，升级后设备每小时处理晶圆数将增加。#阿斯麦芯片技术突破#