近日全国首台国产商业化电子束光刻机在杭州正式亮相，这台设备由浙江大学余杭量子研究院自主研发，型号为“羲之”，已完成研发并进入应用测试阶段。“羲之”是一款新一代100kV电子束光刻机，外观酷似大型钢柜，专攻量子芯片、新型半导体研发的核心环节。