今年9月，台积电（TSMC）从ASML手上接收了其首台High-NA EUV光刻机，移送至自己的全球研发中心进行研究，以满足A14等未来先进工艺的开发需求。传闻台积电董事长兼首席执行官魏哲家亲自与ASML谈判并达成了一项协议，通过购买新设备和出售旧型号相结合的方式，将整体价格降低了近20%。