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IT之家
尼康宣布开发新款半导体后端工艺数字光刻机:1.5μm 分辨率,效率提升 30%
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尼康宣布开发新款半导体后端工艺数字光刻机:1.5μm 分辨率,效率提升 30% - IT之家
该设备与已在接受订单的 DSP-100 共享技术平台,但有着不同的优势。其也可以通过更换光学系统升级至与 DSP-100 相同的 1μm 分辨率。
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